主要技术特色
- 配备超大样品台的台式扫描电镜
- 支持大尺寸样品与多样品检测
- 高性能二次电子(SE)、背散射电子(BSE)探测器
- 嵌入式EDS
- 配备自动化工作流程
卓越的分辨率
Magnificent resolution
产品介绍

ONYX是一款性能可靠的台式SEM,采用前沿技术,实现快速高质量成像与元素分析。设备体积小巧,拥有同类产品中的大样品台,广泛适用于研发、工业检测、科研教学场景。ONYX让用户快速获得扫描电镜分析能力,非常适合希望减少对外委托电镜测试、减少依赖大型落地式扫描电镜的用户。设备占地面积小,系统稳定性优异,无需特殊配套基建,可轻松安装在各类实验室。
专为大尺寸样品、高通量检测设计
ONYX的大样品台,一次装样即可完成大尺寸零部件以及多个样品的分析。110×110mm电动样品台最多可放置64个半英寸样品座,为高效、高通量检测工作提供所需灵活性。

ONXY台式扫描电镜搭载的大样品台,支持更大装载尺寸,满足大试样检测需求,并提供直观、自动化的解决方案,减少人工重复性操作。



<8nm
分辨率
110*110mm
电动样品台
1-20kV
加速电压
嵌入式EDS
点分析·线扫码·面分布
维护成本低
配置长寿面灯丝
操作简单
直观的Discover操作软件




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