主要技术特色
  • 配备超大样品台的台式扫描电镜
  • 支持大尺寸样品与多样品检测
  • 高性能二次电子(SE)、背散射电子(BSE)探测器
  • 嵌入式EDS
  • 配备自动化工作流程
卓越的分辨率

Magnificent resolution

产品介绍

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      ONYX是一款性能可靠的台式SEM,采用前沿技术,实现快速高质量成像与元素分析。设备体积小巧,拥有同类产品中的大样品台,广泛适用于研发、工业检测、科研教学场景。ONYX让用户快速获得扫描电镜分析能力,非常适合希望减少对外委托电镜测试、减少依赖大型落地式扫描电镜的用户。设备占地面积小,系统稳定性优异,无需特殊配套基建,可轻松安装在各类实验室。



专为大尺寸样品、高通量检测设计

       ONYX的大样品台,一次装样即可完成大尺寸零部件以及多个样品的分析。110×110mm电动样品台最多可放置64个半英寸样品座,为高效、高通量检测工作提供所需灵活性。

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       ONXY台式扫描电镜搭载的大样品台,支持更大装载尺寸,满足大试样检测需求,并提供直观、自动化的解决方案,减少人工重复性操作。


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<8nm

分辨率

110*110mm

电动样品台

1-20kV

加速电压

嵌入式EDS

点分析·线扫码·面分布

维护成本低

配置长寿面灯丝

操作简单

直观的Discover操作软件